MEMS技术可以被结合到各种各样的电子部件中。生产这些组件的公司大概会认为MEMS实施优于MEMS版本问世之前所使用的实施方式。很难验证足够多的这些主张来证明按照“MEMS器件比非MEMS器件具有明显更好的性能”这样的概括说法是合理的。但是,我的总体印象是,在许多情况下,MEMS确实是向前迈出的重要一步,如果性能或易于实现是您设计中的优先事项,那么我将首先关注MEMS器件。
在电气工程领域,MEMS技术已被分为四个产品类别:
音讯
感测器
震荡器
可能有些不常见的产品不属于这些类别之一。如果您知道我忽略的某些内容,请随时在评论中告知我们。
音讯:在 音频 领域,我们有MEMS麦克风和MEMS扬声器。下图传达了MEMS麦克风的基本特性。
感测器: 传感器 是MEMS技术的主要应用。有MEMS 陀螺仪 ,倾角仪,加速度计,流量传感器, 气体传感器 , 压力传感器 和磁场传感器。
开关:在我看来,电控开关是MEMS技术特别有趣的应用。我在本文中介绍过的ADGM1004易于控制,可在0Hz至10GHz以上的信号频率下工作,在关断状态下的泄漏 电流 小于1nA,提供的驱动寿命至少为一个十亿个周期。
震荡器:将微 机械 谐振器 与激励 电路 和维持电路相结合会产生MEMS 振荡器 。如果您想研究实际的MEMS组件,可以查阅2017年的一篇新闻文章,其中我讨论了 SiTime 的SiT2024BMEMS振荡器。
图由Si Ti me提供。
我在MEMS振荡器方面经验不足,但我认为它们可能是苛刻应用中的绝佳选择。在上述有关SiT2024B的文章中,我指出,基于Si TI me的信息,MEMS振荡器可以大大优于石英振荡器。