何时使用MEMS器件?

MEMS技术可以被结合到各种各样的电子部件中。生产这些组件的公司大概会认为MEMS实施优于MEMS版本问世之前所使用的实施方式。很难验证足够多的这些主张来证明按照“MEMS器件比非MEMS器件具有明显更好的性能”这样的概括说法是合理的。但是,我的总体印象是,在许多情况下,MEMS确实是向前迈出的重要一步,如果性能或易于实现是您设计中的优先事项,那么我将首先关注MEMS器件。

在电气工程领域,MEMS技术已被分为四个产品类别:

音讯

感测器

    开关  

震荡器

可能有些不常见的产品不属于这些类别之一。如果您知道我忽略的某些内容,请随时在评论中告知我们。

音讯:在     音频   领域,我们有MEMS麦克风和MEMS扬声器。下图传达了MEMS麦克风的基本特性。

 何时使用MEMS器件?_设计制作_存储技术

感测器:     传感器   是MEMS技术的主要应用。有MEMS     陀螺仪   ,倾角仪,加速度计,流量传感器,     气体传感器       压力传感器   和磁场传感器。

开关:在我看来,电控开关是MEMS技术特别有趣的应用。我在本文中介绍过的ADGM1004易于控制,可在0Hz至10GHz以上的信号频率下工作,在关断状态下的泄漏     电流   小于1nA,提供的驱动寿命至少为一个十亿个周期。

震荡器:将微     机械       谐振器   与激励     电路   和维持电路相结合会产生MEMS     振荡器   。如果您想研究实际的MEMS组件,可以查阅2017年的一篇新闻文章,其中我讨论了     SiTime   的SiT2024BMEMS振荡器。

 何时使用MEMS器件?_设计制作_存储技术

图由Si     Ti   me提供。

我在MEMS振荡器方面经验不足,但我认为它们可能是苛刻应用中的绝佳选择。在上述有关SiT2024B的文章中,我指出,基于Si  TI me的信息,MEMS振荡器可以大大优于石英振荡器。

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