据9月14日消息，在中国发展芯片产业的道路上，众人忧心的“人才”问题可以群策群力解决，“技术”可以焚膏继晷努力研发，唯独“关键设备”议题犹如中国芯片产业的软肋，尤其是光刻机巨头 ASML 更是永远处于舆论的风口浪尖上。对此， ASML 中国区总裁沈波重申，目前最成熟、最先进的光刻机都将进入中国，完全不存在高端机台不卖给中国厂商的问题。

尽管UMC(联电)和Globalfoundries(格芯)先后宣布放弃7nm制程及更先进工艺的研发，但ASML依然对EUV光刻机的前景表示乐观。此前有消息指出，中芯国际(SMIC)今年已向ASML订购了一台EUV光刻机，预计明年交付，用于7nm节点。同时，传统的沉浸式光刻机方面，沈波称，今年下半年ASML已开始出货家族最先进的NXT:2000i，很快会在中国市场上也见到。

另外，媒体早先有报道称，长江存储、上海华虹半导体分别向ASML订购了193纳米浸没式光刻机和193纳米双工件台沉浸式光刻机NXT:1980Di，分别用于存储芯片制造、晶圆代工。据悉，ASML今年第一季度和第二季度的财报显示，大陆市场的销售收入占比达到了20%左右，已与美国持平，且超过了台湾地区。ASML今年的EUV光刻机产能将达到20台，明后两年将逐步提升到40台。

沈波出任 ASML 中国区总裁一职以来，首次出席“ 2018 中国集成电路产业发展研讨会暨第二十一届中国集成电路制造年会（ CICD ）”，沈波在会中发表演讲时，除揭露 ASML 设备技术未来蓝图发展、中国布局、合并公司的进展等问题外，更重要的是，面对 DT 君提出外界长期以来的疑问，也就是 ASML 是否受到某些限制，因而无法销售高端设备给中国厂商，沈波也逐一回答释疑。

    ASML 强调所有商用机台都可以进口中国市场，明年更会有7纳米落地  

沈波点出，网络上很多人讨论 ASML 没有把最好的机器卖给中国，这并非事实，因为，现在 ASML 的极紫外光（EUV）机台已经进入中国，其中， NXT : 1980 是目前 ASML最成熟的机台，也将要进入中国。沈波更透露， 这边的客户从来没有拿不到最先进机台的问题。ASML 新款的 NXT: 2000 机台很快就会在中国市场上看到。而 ASML 的 NXT : 2000 是深紫外光（DUV）机台，多数用于生产高端的 7 纳米和 5 纳米工艺技术，这也暗示，中国将进入高端 7 纳米技术的生产之列。

事实上，中国占 ASML 业务比重越来越大，以今年上半年来看，中国市场占其营收约 20 %，估计全年平均约可达到 15 % 左右，目前 ASML 在中国的客户有中芯国际、华虹半导体、长江存储、合肥长鑫、英特尔大连厂、SK海力士西安厂等。

单是今年，就有中芯国际引进首台 EUV 光刻机，还有长江存储武汉厂、华虹集团旗下的华力微电子均引进 ASML 的机台。但他也点出一个重点，中国晶圆厂是遍地开花，但真正实现量产的晶圆厂，会比宣布的要少很多。

沈波强调，芯片的生产制造并不是有了光刻机，就能把什么问题都解决了，芯片的制造流程非常复杂，要解决一道道技术难题后，才能顺利生产。沈波更进一步表示， ASML 所有商用的光刻机产品，无论是最成熟的、最先进的光刻机，都可以进口到中国。

包括许多媒体报道对于 ASML 的另外一个疑虑，是多年前英特尔、台积电、三星曾经参与“EUV 投资计划专案”，加速 ASML 的 EUV 机台技术研发，外界担心，产能十分有限的 EUV 机台会不会被上述的三家厂商包下订单，导致其他的半导体厂无机台可买？

对此，沈波也特别说明，当初三家半导体大厂投资 EUV 计划专案，主要是怕 ASML 不做了，产业会出现技术瓶颈，现在公司的机台产能是每年逐渐提高，订单是按照客户下单的先后顺序，并非这三家公司当初参与投资，就先拿到机台，应该是说这三家公司因为提早做技术准备，因此比较早用到 EUV 技术。

    ASML 连续 16 年稳居光刻机龙头， EUV 机台垄断是关键原因  

ASML 目前的三大产品线为 EUV 、 DUV 和 application products。当中， DUV 是出货量最大的产品，而 EUV 是最具前瞻性的产品，从 2018 年—— 2020 年的成长性可以看见大幅往上，目前公司也积极扩充产能，从年产能 20 台，明年提升至 30 台，后年再提升至 40 台。另外，在 application products 部分，主要是 20 纳米以下制程市场，像是 14 纳米、 7 纳米，该产品线成长率非常高。

（来源：DeepTech）

根据美国调研机构的资料显示， 2017 年全球半导体光刻设备厂中， ASML 仍以 85 % 的市占率稳居龙头，其次是日本厂商尼康（ Nikon ) 的 10.3 %，以及佳能 ( Canon ) 的 4.3 %，这已经是 ASML 连续 16 年稳居市场第一，而 ASML 以几乎垄断的地位存在于光刻机领域，主要就是因为它是全球唯一能提供 EUV 机台的半导体设备厂。

沈波指出，今年投入 16 亿欧元在研发上面，占营收比重约 15 % ，且今年是公司 EUV 机台上非常重要的一年，客户要把 EUV 技术导入量产，目前 EUV 机台每小时产出片数达 125 片，在实验室中可达 140 片，且光源 250 瓦的稳定性很高，明年客户采用 EUV 的规模会再扩大。

    ASML 扩大布局中国市场，在上海成立培训中心  

ASML 进入中国市场已经 18 年了，日前也持续扩大布局中国市场，目前有 13 个办公室，两个研发中心分别在北京和深圳，近期在上海也成立培训中心，估计 ASML在中国员工约 1000 人。此外， ASML 前几年并购的汉微科，主力为电子束技术，在北京有将近 60 人的研发团队。这两年两家公司一直在做整合，包括技术和产品的整合，和原本公司强项的光刻机结合起来，提供客户完整的光刻解决方案，今年也会有新产品，包括光学量测机台、多重电子束机台，朝为客户提供全方位解决方案迈进。

（来源：DeepTech）

沈波表示，中国半导体市场处于前所未有的历史阶段，然遇到的阻碍也很多，行业更需要精诚合作，大家形成伙伴关系，而不单只是供应商关系，彼此更是伙伴关系。他也观察到，逻辑客户的技术发展是走在最前端，芯片越做越小，继 FinFET 架构技术后，三星也提出 GAA 架构技术，而在存储技术这块， 3D NAND 是不错的方向，芯片更为立体化后，未来要软硬技术结合优化产品。