2018年8月7日,中国苏州,德国高科技设备领导制造商Manz亚智科技宣布成功研发并销售第一台G10.5面板湿制程设备,现已出货至客方进行安装调试。此为Manz首台国产化G10.5面板湿制程设备,为G10.5面板湿制程设备创下了国产化的里程碑。
亚智科技作为终端产品不断推陈出新的幕后推手,20多年以来一直为全球面板大厂提供创新的化学湿制程设备。G10.5面板湿制程设备验证了Manz的研发设计成果,凭借精良的结构强度设计、优异的传送稳定度、卓越的风刀吹干能力与安全的药液控制设计,在此次成功交付第一台G10.5设备的同时,也获得来自另一家知名面板制造商的订单,预计将在2019年第一季度出货。
为适应超大一代面板的制程设备需求,Manz早在多年前就预见到这一趋势,着力于研发蓝图且加大研发强度,开发G10.5湿制程实验平台,成功克服大尺寸面板设备在结构强度、传输系统,以及基板干燥等方面的工艺问题并取得相关数据,成功跻身市场上可提供国产化G10.5面板湿制程设备的制造商,实现Manz对国内客户的承诺—"结合德国技术与工艺质量,本地生产、本地价格及短时间交货"。
自2016年获得上海电气注资起,Manz集团便积极转型,调整产品结构与销售模式,专注投资国产化设备与高端市场产品。集团紧抓市场脉动,战略对接“德国工业4.0”与政府力推的 “中国制造2025”,共同推动新工业革命和业态,达成双赢。
ManzG10.5面板湿制程设备的技术重点:
•精良的结构强度设计:
G10.5的生产设备十分庞大,结构更大,必须改进结构强度设计,才能确保人员在设备槽体上盖进行保养或维修时,不会有槽体破裂与工程安全问题发生。因此,Manz在结构强度上进行了精良的设计调整及最大应力计算实验,确保设备在最大应力的分散及刚性足够而且具安全性。
•优异的传送稳定度:
轴心采用轻量化设计:整体设备变大,输送机构也跟着放大,输送轴心过重容易产生偏摆,因此改采轻量化材料并增强强度,并采取破片防制设计,以达到优异的传送稳定度。
抗震抗偏摆的刷轮设计:除了轻量化轴心设计外,采用激光对心校正来进行组装精度控制,使得刷轮在500rpm转速的情况下,偏摆量XYZ轴振动值仍可控制在每秒0.2——0.5mm。
•卓越的风刀吹干能力:
Manz G10.5面板湿制程设备采用立式斜吹双出风口的风刀设计(Dual Ak),并通过气场模拟测试及实验机实测在槽体内的喷流压力平稳无紊流,大大提升吹干效果,Slit Gap风量均一性<10%,最高可吹干产速为9M/min (每分钟9米),为超大面板在高产速下提供优异的风刀吹干技术。
•安全的药液控制设计:
针对具有危险性的化学药液,除了采用业界标准的防爆系统外,在槽体盖板上也采用双层盖及防漏设计。