台积电全球第一座3纳米工厂通过环境评测,2020年动工

今年各大厂商的旗舰SoC都开始用上7nm制程工艺,比如说华为海思麒麟980和苹果A12仿生处理器,还有还未正式上市的高通骁龙855处理器。预计未来很长一段时间,我们都将会使用这种7nm制程工艺生产的SoC。不过现在已经有消息指出,全球第一座3纳米厂可望在2020年动工,最快2022年底量产,全球半导体产业将迈向新纪元。

12月20日上午消息,据中国台湾地区《经济日报》报道,台积电3纳米工厂通过环境评测,依据原定时程,全球第一座3纳米厂可望在2020年动工,最快2022年底即可量产。

随着台积电3纳米工厂通过环境评测,台积电可以顺利兴建晶圆18厂第四到六期新厂。此前,台积电对3纳米量产时程一直保密,除了防止对手三星加快投资脚步,也是因为环评案未过关。依照台积电规划蓝图,3纳米应可在2021年试产、2022年量产,成为全球第一家提供晶圆代工服务,同时可以解决很多AI人工智能芯片功效更强大的晶圆代工厂。

今年8月,台湾当局“环保署”专案小组首度审查此案,创下重大开发案初审一次就过关的纪录,11月进入环评大会时,因为每日用水大幅增加7.5万吨和88万度用电,“环委”要求厘清后再审。昨日“环保署”再度召开环评大会,此环差案顺利过关,表示台积电3纳米厂将可顺利推进。

对于3nm晶圆厂来说,除了技术研发之外,它对水电的消耗也不容忽视,特别是在大量使用EUV工艺之后,我们之前在介绍EUV光刻机时就提到过这个问题,由于EUV极其耗电,因为13.5nm的紫外光容易被吸收,导致转换效率非常低,据说只有0.02%,目前ASML的EUV光刻机输出功率是250W,工作一天就要耗电3万度,所以晶圆厂耗电量极其惊人,台积电公布的2016社会责任报告中提到耗电量总计88.5亿度。

除了耗电之外,晶圆厂在制造芯片的过程中还需要大量水源,大型晶圆厂每日用水量高达5万吨,尽管现在已经做到了80%以上的循环用水,但是总量依然惊人,所以建设半导体晶圆厂对环境方面的压力还是很大的,工艺越先进,问题就越明显。

台积电的3nm晶圆厂坐落在台湾南科园区,占地28公顷,位置紧邻台积电的5nm工厂。今年8月中旬台湾环保部门已经通过了“台南科学园区二期基地开发暨原一期基地变更计画环差案”初审,昨天环差案通过审查,台积电将于2020年9月自南科管理局取得用地后,随即动土展开3纳米新厂兴建作业。

根据台积电的资料,他们的3nm项目投资超过6000亿新台币,约为194亿美元或者1347亿人民币,2020年开始建厂,2021年完成设备安装,预计2022年底到2023年初量产。

对于台积电来说,加速推进3nm工艺,主要原因是,防止对手三星加快投资脚步,同时也是不希望因为环评案不通过,延缓自家兴建晶圆18厂第四到六期新厂的规划。

依照台积电规划蓝图,3纳米应可在2021年试产、2022年量产,成为全球第一家提供晶圆代工服务,同时解决很多AI人工智能芯片功效更强大的晶圆代工厂。台积电目前是苹果A12、高通骁龙855、华为麒麟980等处理器的代工厂商,而明年年初他们要对现有的7nm工艺升级,主要是加入了极紫外光刻(EUV)技术。

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