精密运动控制解决方案

精密  运动控制系统 被广泛应用于精密加工、精密测量、科学研究等领域。比利时LAB公司专注于为高端检测类用户、高端加工类用户、科研类客户提供整体定制化的运动控制解决方案。

▪激光加工比利时LAB有专门的的激光切割方案,包含控制、运动系统、以及激光器。其激光切割方案的主要特点包括:

1)切割行程长达2000mm*2000mm,速度2m/秒

2)全行程切割精度<2µm

3)各种形状切割包括curved,straight,perpendicular,angledlines,holes,slots,etc

4)切割厚度从<50µm到12mm5)自动脱离方案可选

6)切割后崩边chippingsize<5µm

7)pulse on demand

LAB公司近期推出了5轴联动的激光微加工全套解决方案,如下。图形化的用户操作界面,省去了繁琐的软件二次开发步骤和成本,确保用户可以轻松的实现纳米级别的激光加工。

▪半导体检测

LAB的纳米精度运动控制系统广泛应用于  半导体 行业,其主要客户包括ASML、IMEC、Samsung、ZEISS Semiconductor等。下图提到的气浮龙门系统为半导体用户确保核心组件的平面度(Flatness)低于100nm。

精密运动控制解决方案_设计制作_MEMS/传感技术

▪科学研究

科研行业是LAB公司自成立之初就紧密合作的重点行业,主要客户包括全球各大主要同步辐射光源以及大学研究所等。

LAB Motion Systems公司2005年成立于比利时著名的大学城鲁汶,是天主教鲁汶大学的分离公司,公司的全称是Leuven Air Bearings NV。LAB是全球领先的气浮运动控制系统提供商,公司为用户提供基于气浮轴承技术的纳米精度运动控制系统,包括气浮旋转平台和多轴运动控制平台。其气浮转台的端跳和径跳可以达到<20nm的精度。

北京拓普光研科技发展有限公司是LAB在中国的代理商,致力于LAB产品在半导体检测、量子光学、激光微加工、精密测量、天文、CT等领域的应用推广。

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