人们在计算速度上，能耗上，以及对设备小体积的追求上的不满足，正在促使科研人员更加疯狂的追求半导体产业的发展，需要更小的芯片，更快的速度，更加的省电。

人们已经将芯片的制程工艺做到了极致：7纳米。虽然还在向5纳米、3纳米冲锋，但是所需要付出的努力已经超乎人们的想象。

就需要用到EUV光刻机，光刻机光刻过程必须在真空中实现，原因是空气中的分子会干扰到极紫外光线，同时，在光刻过程中，设备的动作时间误差要达到皮秒计。

去年4月，中芯国际向荷兰ASML公司订购了一台EUV光刻机，用于研究7nm及以下的先进工艺。花费超过1.2亿欧元（约10亿人民币），预计今年底交货，2020年正式安装。因为受到美国政府关切，ASML将延后对中国晶圆代工企业中芯国际出货。

中芯国际是世界领先的集成电路芯片代工企业之一，也是中国内地规模最大、技术最先进的集成电路芯片制造企业。主要业务是根据客户本身或第三者的集成电路设计为客户制造集成电路芯片。中芯国际是纯商业性集成电路代工厂。

消息发酵后，中芯国际股价因此受挫，今日跌幅一度超过6%。

对此ASML与中芯国际均对此表示否定。

ASML相关负责人强调：“实际上在我们第三季度财报中，就已经将相关情况进行说明，根据瓦圣纳协议（Wassenaar Arrangement），ASML出口EUV到中国需取得荷兰政府的出口许可（export license）。该出口许可于今年到期，ASML已经于到期前重新进行申请，目前正在等待荷兰政府核准。因此，关于“ASML决定延迟/终止出货”的说法是错误的，ASML系遵循法规行事，并一视同仁地服务我们全球客户。”

对于何时能拿到许可证，ASML相关负责人表示，目前处于正常的流程状态中，尚未掌握确切的时间。

中芯国际刚刚也进行回应：“极紫外光（EUV）还在纸面工作阶段，未进行相关活动。公司先进工艺研发进展顺利。目前，研发与生产的连结一切正常，客户与设备导入正常运作。”

ASML是全球EUV光刻机的唯一供应商，并且是全球市值最高的芯片设备制造商。ASML年收入约在83亿欧元 （约92亿美元） 左右。其中16%来自英特尔和美光等美国公司，19%来自中国。据了解，台积电、三星已于2019年导入量产最先端产品的EUV设备，且苹果预计2020年下半开卖的新型iPhone预估就会搭载采用该技术的CPU。

中芯国际是我国最大的半导体制造公司，今年14nm制程已经实现量产，追平台联电14nm制程工艺，如果未能准时拿到最先进光刻机设备，或影响赶超台积电的日程表。

目前台积电台积电将包揽ASML今年的30台EUV光刻机中的18台，不过量产的7nm制程仍是基于DUV（深紫外）工艺，今年3月份才启动7nm EUV的量产。而三星在去年就小规模投产了7nm EUV。

不过，业内人士透露，这批设备仍预计将在 2019 年底前出货，并且在 2020 年底前完成装机。

来源：网易