6月17日,传递双创发展新理念、分享双创发新模式、展现双创发展新成效,总投资25亿元的青山湖微纳技术研发开放平台在青山湖微纳智造小镇正式启用。启动仪式上,中电海康集团作为开放平台运营方,与浙江大学、杭州电子科技大学、江苏鲁汶仪器有限公司等7家单位签订合作协议,共同构建青山湖微纳智造小镇集成电路产业生态。支撑小镇基础科研,打造活跃创新基地。
去年1月,承载着特色工艺晶圆制造、芯片设计封装测试、半导体关键装备制造等使命,青山湖微纳智造小镇应运而生,计划引进和培育百家企业、形成千亿元级产业集群、辐射带动万亿元级应用市场,打造中国新型高端存储器基地、浙江省集成电路产业高地。目前,小镇已引进企业31家。
“目前,小镇内的企业在集成电路的设计上具有较强优势,但制造能力一直是省内乃至国内的一个短板。”青山湖科技城科技与产业发展局科技发展科科长孔坚恒说。
据悉,青山湖微纳技术研发开放平台是国内首个以12英寸特色高端芯片工艺研发为核心,覆盖通用芯片设计和测试服务的开放性平台,可为集成电路企业提供技术研发、创新平台和小批量量产、中试等服务。
目前,该平台已拥有光刻机等60多台(套)关键设备、2300平方米洁净室、核心技术骨干专家170余人。其中,平台引进的65纳米和28纳米光刻机,更是全球领先的高端设备,将助力企业生产高端集成电路,补齐全省制造短板。
“平台已完成一期建设,二期预计将于今年投入使用。建成后,这里不仅可以提升集成电路制造水平,还可以吸引全国企业、科研院所集聚,助力杭州打造全国数字经济第一城。”孔坚恒说。
这是国内首条28纳米技术研发开放平台,以12英寸特色高端芯片工艺研发为核心,覆盖通用芯片设计和测试服务的开放性平台,其主要功能包括电路设计、工艺研发、小批量产、测试分析等。
作为全省重大创新平台,青山湖科技城抢抓城西科创大走廊建设机遇,聚焦聚力以集成电路产业发展为主攻方向的微纳智造小镇。
“杭州乃至浙江省在集成电路设计这一块在全国能排进前五名,但是工艺制造方面,跟北京、深圳等国内工艺制造发达地区相比还有一定差距,这是一个硬件的平台,中小芯片企业在电脑上设计好之后就可以在这个平台上进行公益的测试和制造。”青山湖科技城管委会科技与产业发展局孔坚恒说,工艺制造的设备比较贵,最贵的一台要5个多亿,一般企业不具备购买这样说高精尖设备的实力,我们这个平台通过政府资助,在运营初期,将实施一定优惠政策,比如,购买集成电路相关服务,青山湖科技城企业可享受35%优惠,浙江省内企业可享受30%的优惠,其他企业可享受15%的优惠。