北方华创自主研发的等离子硅刻蚀机等设备已迈入集成电路主流厂高产线

在集成电路芯片制造领域,北方华创微电子拥有刻蚀机、PVD、单片退火设备、氧化炉、退火(合金)炉、LPCVD以及清洗机七类产品。经过2017年的不懈努力,这些产品已经全面在中国最主流的几家集成电路芯片厂稳定量产。由北方华创自主研发的应用于14nm先进制程的等离子硅刻蚀机、Hardmask PVD、Al-Pad PVD、ALD、单片退火系统、LPCVD已正式进入集成电路主流代工厂。


Hardmask PVD、Al Pad PVD设备成功进入国际供应链体系;12英寸65/55nm清洗机单机累计流片量已突破100万片大关;深硅刻蚀设备也已成功进入东南亚市场。此外,应用于28nm的Hardmask PVD系统工艺设备、应用于28/40nm的单片退火设备、应用于55nm的硅刻蚀机,均被国内领军集成电路芯片制造企业指定为Baseline机台。


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在先进封装领域,北方华创微电子的等离子刻蚀机,PVD和Descum等设备已得到全面应用,如WLCSP、 TSV、Copper pillar bump、Gold bump等。在CIS WLCSP应用中,北方华创微电子的PVD是世界第一条12英寸生产线baseline机台,凭借稳定优异的表现,持续获得重复订单,并助力客户不断取得高端领域订单。


在近几年的新增市场中,北方华创TSV刻蚀机在中国大陆以绝对优势,保持着较大的市场占有率。Copper Pillar Bump方面,PVD设备已进入中国大陆前两大封测厂生产线,Descum设备也已获得前两大封测厂的重复订单;Gold Bump方面,北方华创的PVD设备在大陆主要金凸块封测厂均实现销售。


随着先进封装技术向高密度和高集成度发展,市场将更多使用到通孔技术和重布线技术,意味着有更多的等离子刻蚀和PVD设备需求,这一趋势与北方华创微电子的核心优势产品高度吻合。北方华创微电子将持续在该领域提供更新的技术,以及更加优质的产品和服务。


在过去的两年中,由于物联网、车用电子、智慧家居等领域应用广泛推动,集成电路产业8英寸晶圆厂产能严重短缺,全球8英寸设备紧俏。


北方华创在8英寸设备上已积累多年。最初,北方华创微电子以集成电路领域的100纳米刻蚀机起步,成功实现技术与市场的重大突破,并获得2009年度国家科技进步二等奖。


如今市场机遇随势而来,公司也在不断创新和拓展。目前我们拥有多款8英寸的成熟产品和设备,包括硅刻蚀机、氧化硅刻蚀机、金属刻蚀机、PECVD、氧化炉、LPCVD、单片清洗机及全自动槽式清洗机等多款核心工艺设备。


作为国产设备商,我们更了解国内市场和客户的需要,能提供更及时优质的服务,可以根据特色工艺与客户进一步开展深度合作,在8英寸新兴应用及特色工艺方面具有非常大的优势。


本文摘自:中国电子报

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