据本小编了解,有源矩阵液晶显示领域发展势头迅猛,TFT-LCD液晶显示屏也一步步经历了大尺寸化,彩色化和高精细化的迭代过渡。液晶显示技术的高速提升势必导致其成本的逐步上扬,那么提高器件的成品率就成为了整体成本下降的一个关键所在。
然而,在大面积玻璃基板上对数百万的开关元件、上千条的扫描线和信号线进行微米级别的排列和制作,本身就具有极高的难度,纵使我们可以通过严格的工艺监管和精细的工艺优化来规避大多数的TFT软性缺陷,但是高分辨率的彩色液晶显示器通常需要7~12次的掩膜加工,掩膜版缺陷和杂质沾污所导致的大量沟道、源、栅、汇线的短/断路等硬性缺陷我们却无法规避,只能借用冗余技术和激光修补技术来进行消除。
LCD断路激光修补技术:
对于TFT-LCD中的断路修补,一般采用激光化学气相沉积法(CVD),即用金属有机化合物充当工作气体,经过Ar+激光分解产生的金属原子沉积,在激光辐照区内形成一条金属线,以此导通断路,形成激光修复。
LCD短路激光修复技术:
对于TFT-LCD中的短路修复,通常采用高功率YAG脉冲激光器,通过照射需要切断的短路的电路,让金属膜在强脉冲下局部汽化,从而修复短路问题。
DPS-A激光器:
长春新产业光电针对TFT-LCD液晶屏领域的短路修复问题,专门研发并推出的DPS-A激光器,采用1064/532nm双波段工艺,全风冷散热方式,能够激发10mJ的大能量脉冲,有效切除LCD中的绝缘层、有源层、Al、Mo、Ta、CTO、金、铜等大部分合金及化合物,完美处理所有由于短路所引起的LCD屏缺陷问题,大幅度提高良品率。
产品优势:
1、CNI工艺实验室提供为您提供工艺参数优化
2、产品性价比高,价格经济,适合专业领域的修复设备量产
3、10mJ超高脉冲能量,输出能量能够支持各种大幅面LCD屏的激光修复
4、军工级别的重复能量稳定度(rms<3%),保证修复效果的稳定性与均一性
5、激光的光斑模式优异,可用能量范围宽,能够为激光修复提供较大的制程控制范围
6、采用同轴嵌入式准直工艺,能够利用低功率650nm连续红光进行激光对焦准直,减小修复难度和人工误差
本文摘自: 神奇激光世界-长春新产业