MEMS惯性导航在过去数十年内得到了迅速发展，在无人系统领域内得到了越来越多的应用，其作为未来惯性导航的主要发展方向，正在展现出强大的潜力以及良好的应用前景。
在近几年来，微小型无人机在军用以及民用领域内发挥着越来越重要的作用，而为了实现无人机自身的定位以及定位问题，航姿测控系统发挥着至关重要的作用。航姿测控系统主要由 GPS 天线、GPS接收板、捷联式 磁传感器 、惯性 测量 单元、高度空速 传感器 以及调理单元构成。传感器的精度直接决定无人机位姿的精度，传感器采集到的数据通过导航算法计算出无人机的位置姿态信息。
目前无人机的导航主要采取将MEMS惯性导航系统与GPS组合的手段，这样既可以提高系统精度，又可以缩短初始对准的时间。如今无人机上面搭载的导航系统精度为消费级，如 Invensense MP6500的精度为2°/s，而随着MEMS器件精度的提高以及成本的降低，未来无人机的导航精度将提高。
无人车
无人车是通过车载传感器来感知外界环境，并且获取车辆位置、姿态信息以及障碍物信息，从而控制车辆行驶速度、转向以及起停等。
当无人车行走到高大建筑物下，且GPS被遮挡而无法正常工作时，无人车上搭载的惯性导航系统短时间内的精度可以满足车辆自主前行的需求。无人车上的MEMS惯性导航系统，一般精度要求较高。
无人船
由于边境巡逻、水质勘探等任务所采取普通的舰船设备较为危险并且成本较高，致使无人船技术发展迅速。获取无人船位置姿态信息是无人船能够自主开展工作的重要前提。
如今无人船上配备的传感器主要有GPS，MEMS惯性导航系统及避障雷达等。随着MEMS惯性导航系统精度的提高，惯性导航系统在无人船的位置姿态信息获取中发挥着至关重要的作用。无人船上搭载的MEMS惯性导航系统，一般消费级的中低精度即可满足需求。
MEMS惯性导航除了应用在我们生活的环境里，实现各种无人操作。未来，随着MEMS惯性导航精度和稳定性不断提高，MEMS惯性导航技术还必将会应用在航空航天领域，如航天器、卫星等无人系统中，成为重要的一员。
