如今，博世又达到了一个新的里程碑！自1995年以来，博世集团已经生产了10,000,000,000个微电子机械系统（MEMS）传感器！据了解，全球超过一半的智能手机中都安装了至少一个博世MEMS传感器；平均每五辆新车就有一辆安装博世MEMS传感器；而在无人机、游戏机、健身腕带和真空吸尘机器人中甚至安装了数百万个博世MEMS传感器……

    什么是MEMS？  

微电子机械系统传感器，或简称MEMS，是芯片形式的电子和机械硬件的组合。每个MEMS传感器都由微型硅结构组成，而这些硅结构通过一种特殊的蚀刻工艺置入硅晶圆中。例如，在显微镜下，加速度传感器的结构看起来像以相对和互锁模式排列的游丝状梳子。其中一些精细的梳状结构仅有4微米——仅相当于蚂蚁腿直径的十分之一。

约25年前，博世研发出了MEMS技术所需的制造工艺。这仍是今天生产运行的基础，整个制造过程耗时长达14周，共需上百个步骤。这些微型传感器在严格的无尘环境下制造，因为即使是最小的大气颗粒物也会破坏其生产。一立方英尺的空气约30升，可能最多只能含有一颗重达半微克的颗粒物。形象地说，这相当于康斯坦茨湖或3.6亿个浴缸里面的一个樱桃核。

    100亿个感觉器官  

这些元器件呈矩形或方形，高度在1到4毫米之间，比针头还小，不容易被察觉。但是，无论MEMS传感器有多么不起眼，这些了不起的小东西就是互联世界中的明星。

Jens Fabrowsky先生，博世汽车电子事业部执行管理层成员认为：“MEMS传感器可以探测世界，让电子系统像器官一样学会看、听、闻。他们可以把一部简单的手机变成智能手机，可以拍摄清晰的照片，在街道和多层建筑物中实现定位和导航。”

借助MEMS传感器的优势，无人机可以平稳滑行，在风中也精确可控。安装在运动手环和智能手表中的MEMS传感器可以计算步数、台阶数和卡路里。它们的微调接收器可测量温度、气压、湿度甚至空气质量，能更有效地调控空调设备和通风系统。或者，当办公室开会时间拖延时，它们可以触发智能手机提醒大家该去呼吸点新鲜空气了。

约25年前，第一批MEMS传感器并不是为智能家居技术或消费类电子产品所设计的，而是针对于汽车领域。这些灵敏的微型器件为控制单元提供了关于汽车何时制动、加速以及汽车行驶方向的数据。有了这些信息，ESP电子稳定程序可以确保汽车、卡车以及摩托车安全地行驶在车道内。即便GPS信号消失，导航系统也永远不会偏离目的地。

 MEMS传感器助力未来互联交通

据高德纳咨询公司（Gartner）预计，随着互联设备数量的快速增长，到2020年，全球MEMS传感器的需求数量将达到200亿，虽然只有芯片大小，但它必定会成为我们不可或缺的“超级英雄”。最后，不如和博世君一起来回顾一下，博世MEMS传感器的“小小英雄史”。

博世是德国的工业企业之一，从事汽车与智能交通技术、工业技术、消费品和能源及建筑技术的产业。1886年年仅25岁的罗伯特·博世先生在斯图加特创办公司时，就将公司定位为“精密机械及电气工程的工厂”。总部设在德国南部斯图加特市的博世公司员工人数超过23万，遍布50多个国家。博世以其创新尖端的产品及系统解决方案闻名于世。

    博世MEMS大事纪  

1994年：制造MEMS传感器的“博世工艺”——大规模批量生产的关键正在发展

1995年：博世大规模生产首款MEMS传感器——用于发动机管理的压力传感器

2006年：博世开发出第一款用于消费电子产品的MEMS传感器，增强了游戏机的乐趣

2008年：生产开始的第13年，第十亿个MEMS传感器出厂

2010年：博世在罗伊特林根开设了生产200毫米晶体的工厂

2015年：博世第50亿个MEMS传感器出厂

2018年：博世MEMS传感器产量突破100亿大关