完成单位：哈尔滨学院

项目简介：本低、功耗低、可靠性高、适于批量化生产、易于集成和实现智能化的特点，同时在微米量级的特征尺寸使得它可以完成某些传统机械传感器所不能实现的功能，具有广阔的推广应用前景，已逐步扩展到诸多垂直领域，大到汽车，小到手机、可穿戴手环，以及无人机监测。将为国家的国防安全、环境保护、人民生命财产和安全保障、社会科学技术的发展等发挥极其重要的作用，从而创造重大的经济和社会效益。

经济社会效益：MEMS气体传感器为高新技术产品，附加值高，在危化品运输/储存、环境保护、安全监测、石油、化工、冶金等领域有广阔的应用市场，其潜在市场巨大，具有很好的经济效益，时对于保证生产运输安全、防止环境污染、减少灾害损失等方面将起着十分重要的作用，该成果推广到煤矿瓦斯检测传感器的改进上，对提高瓦斯传感器的可靠性水平，减少煤矿灾害具有良好的社会效益。“基于 MEMS 技术的高性能催化燃烧式气体传感器研发与应用”项目的成果，在哈尔滨佳启科技开发有限公司和哈尔滨易欧斯智能装备有限公司进行的产品的产业化生产和技术应用，该产品附加值较高，产值接近1亿元。

所属高新技术领域：自动化技术