8月15日，台湾地区环保署环评专案小组审查南科管理局提出的环差案，半导体龙头大厂台积电投资逾新台币6,000亿元的3纳米厂确定落脚南科台南园区，台积电挂水电双保证，承诺未来20%使用绿电、每日使用再生水7.3万吨，环评小组因此一次过关，这是近年来重大开发案中少见现象，估最快2022年底或2023年初量产。

南科管理局长林威呈昨亲自出席说明这项重大环差案。他表示，环差案过关之后，一定会让环境保护与产业发展兼顾，台积电此案将提供超过5,000个就业机会，有利当地发展。

林威呈强调，在程序上，还要经过环评大会同意，才算完整环评程序，在环差案中，包括用水、用电、排放污水等，南科都有给出承诺，接下来在工程部分，前端的生产资源、末端的废弃物及污水处理，也将与台电、台水等权责公司一同商讨。

台积电资深厂务处长庄子寿表示，台积电3纳米总投资预估至少新台币6,000亿元，如果环评案可以顺利通过，预计2020年可以建厂，2021年开始安装，预估18个月的认证，希望2022年底、2023年初开始量产。此时程是否会太晚、会不会担心竞争对手韩国三星与美国英特尔追赶?庄子寿很有信心地笑说：“我们没有在怕!”

台积电挂出水电双保证，庄子寿指出，一直以来，台积电相当支持政府绿能政策，也是重承诺的公司，允诺20%使用绿电，“会把绿电接到厂内使用”，而且现在已经和风能投资公司签署备忘录，如果太阳能电厂有大型电厂，也会积极合作，“自己不会做，也会找别人来做”，避免台积电的庞大用电量造成台电调度困难。

配合台积电3纳米厂的南科二期基地开发案，因为开发没有超过南科原核定10%面积，不需重作环评，但用水量将会增加每日7.5万吨，用电量会增加88万千瓦，较原先预期大幅增加，也成为环评会上关注焦点。

据南科简报，在用水部分，台积电承诺园区将会推动使用再生水，预估最大量为每日7.3万吨，也会配合台南市政府推动再生水换水计划的水量与期程，园区将使用替换的自来水并补贴差价，达到最大换水量约每日1万吨。用电部分，台积电承诺未来新增用电量，将随量产时程，逐年取得20%用电度数再生能源，并进一步检视再提高再生能源用电比例可能性，为避免与民争电，在尖峰用电控管及邻近地区，透过绿电建置环境友善规划。

在下一代制程工艺上，有实力有财力走得更远的半导体公司没几家了，联电已经放弃了12nm以下的先进工艺，英特尔还挣扎在10nm节点，目前公布5nm及3nm计划的只有台积电和三星两家，其中台积电5nm节点投资250亿美元，而3nm工艺也确定了投资计划了，投资规模6000亿新台币，目前台南园区的3nm工厂已经通过了环评初审，预计最快2022年底投产。

台积电的7nm工艺今年已经量产了，首发的7nm芯片是嘉楠耘智的ASIC矿机芯片，不过真正的大头还是苹果的A12、海思麒麟980以及AMD、NVIDIA的7nm CPU/GPU芯片。与16nm FF工艺相比，台积电的7nm工艺（代号N7）将提升35%的性能，降低65%的能耗，同时晶体管密度是之前的三倍。2019年初则会推出EUV工艺的7nm+（代号N7+）工艺，晶体管密度再提升20%，功耗降低10%，不能性能没有变化。

在5nm节点上，台积电将投资250亿美元发展5nm工艺，预计2019年试产，2020年量产。与初代7nm工艺相比，台积电的5nm工艺大概能再降低20%的能耗，晶体管密度再高1.8倍，至于性能，预计能提升15%，不过使用新设备的话可能会提升25%。

在3nm节点上，台积电也公布了相关计划，去年表态称投入了数百名工程师资源进行早期研发，而晶圆工厂也将落户南科台南园区，占地28公顷，位置紧邻台积电的5nm工厂。目前台湾环保部门已经通过了“台南科学园区二期基地开发暨原一期基地变更计画环差案”初审，预计在2020年交地给台积电建设工厂。

根据台积电的资料，他们的3nm项目投资超过6000亿新台币，约为194美元或者1347亿人民币，2020年开始建厂，2021年完成设备安装，预计2022年底到2023年初量产。